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等离子体化学气相沉积(PCVD)技术的基本特征有哪些?

问答题
2019-12-13 13:20:26
0330
参考答案:PCVD技术是通过反应气体放电来制备薄膜的,这就从根本上改变了反应体系的能量供给方式,从而有效地利用非平衡等离子...
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 参考答案
科目:材料化学
学科:材料科学与工程